基于半导体气敏元件法的报警仪

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基于半导体气敏元件法的报警仪(AlarmBasedon Gas Sensitive Semiconductor Device)
气体工业名词术语。采用半导体氧化物作为气敏元件,其电导率随着接触气体浓度的变化呈线性关系,通过测量电导率就可以检测出气体的浓度,将信号放大并显示报警。将半导体氧化物粉末涂在铂丝上,铂丝通电发热提供一定温度,同时提高了气体检测的灵敏度。该法对砷烷,磷烷,乙硼烷,硅烷的最低检测浓度分别为012×10-6,013×10-6,011×10-6,015×10-6;响应速度90%应答10s。
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